一、羅茨旋片真空機組的概述: 羅茨旋片真空機組是由做為主抽泵,單級或雙級旋片泵做為前級泵的低、高真空獲得設備,整套機組安置在一個機架上,配以管道、閥門和電器操作控制箱,除最小二個規格外,還配有冷卻水管系統機組結構緊湊、使用方便。在真空度達到極限時抽氣速率不斷降低,能使機組在極限真空時保持相對大的抽氣速率.真空度高,可持續工作,噪音低。 為了提高羅茨旋片真空機組的抽氣性能,達到較高的極限真空和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機組配用較小規格的前極泵,羅茨旋片真空機組也有由二級羅茨真空泵串聯的三級機組。 根據被抽真空系統的大小及氣體狀態,羅茨旋片真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間,前者適用于較大真空系統及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。為了防止前級旋片真空泵停機返油,在前級管道上裝有電磁閥,一般用或作與前級的電機聯動。 |
二、羅茨旋片真空機組的使用范圍: 適用于抽吸空氣及其它無可凝性、無腐蝕性的氣體,廣泛應用于需要大抽速和需要獲得低、高真空的各種真空系統。例如:、鋼液脫氣、真空燒結、大型空間模擬試驗中的動態真空的獲得,電力電容器、變壓器真空浸漬處理,日光燈管、燈泡自動生產線上的排氣,保溫瓶膽的連續排氣,真空鍍膜設備中的預抽,鎂還原過程中的抽氣,單晶硅提煉過程中的除氣等等。 |
泵型號 | 抽氣速率(L/S) | 極限壓力 | 進氣口徑(mm) | 電機功率(kw) | |||||
主泵 | 前級泵 | 主泵 | 前級泵 | ||||||
Ⅰ | Ⅱ | Pa | Torr | Ⅰ | Ⅱ | ||||
SH70 | 2x15 | - | 70 | 2x10-2 | 1.5x10-4 | 80 | 1.1 | 2.2 | - |
SH150 | 2x30A | - | 150 | 2x10-2 | 1.5x10-4 | 100 | 2.2 | 3 | - |
SH300 | 2x70A | - | 300 | 2x10-2 | 1.5x10-4 | 150 | 4 | 5.5 | - |
SH300 | 2x30A | - | 300 | 2x10-2 | 1.5x10-4 | 150 | 4 | 3 | - |
SH600 | 2x70A | - | 600 | 2x10-2 | 1.5x10-4 | 200 | 7.5 | 5.5 | - |
SH1500 | 30 | 2x15 | 150 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 100 | 2.2 | 0.75 | 2.2 |
SH300 | 70 | 2x30A | 300 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 150 | 4 | 1.1 | 3 |
SH300 | 70 | 2x15 | 300 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 150 | 4 | 1.1 | 2.2 |
SH600 | 150 | 2x70A | 600 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 200 | 7.5 | 2.2 | 5.5 |
SH600 | 150 | 2x30A | 600 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 200 | 7.5 | 2.2 | 3 |
SH1200A | 300 | 2x70A | 1200 | 1x10-2 | 7.5x10-5 | 250 | 11 | 4 | 5.5 |
說明:
1、以上是國家標準推薦型號,也可根據用戶特殊要求,異型設計
2、單泵的技術指標詳見各泵說明書
3、表中的抽氣速率系指主泵的集合抽氣速率。
4、2X為兩級旋片真空泵,如2X-70為抽速70L/S的兩級旋片真空泵