真空泵油污染是較為常見的真空泵故障，真空泵油污染不僅僅是污染真空泵那么簡單，它還會影響真空泵的工作效率，甚至對真空泵部件發生風險。真空泵油污染有以下幾個原因：

1.新的真空泵或真空泵維修后，用水、燃料或清洗劑沖刷內部。

2.真空泵工作環境周轉有大量水、灰塵或化學物質，也會污染真空泵油。

3.封存的真空泵內部的防銹物未啟封干凈就插手真空泵油運轉，也使真空泵油受污染。

4.換真空泵油時舊油放不干凈，舊加新的真空泵油，殘存的舊油污染新油，舊油重的氧化產物加速了新油的氧化。

5.工作失誤，真空泵操作中補加真空泵油時，加入了一些其它品種或者劣質進口真空泵油，這些潤滑油的不同配方和添加劑可能與原用真空泵油發生不良反映而易于變質。